近日，Veeco宣布推出3款新型市場(chǎng)領(lǐng)先的Turbo Disc® MOCVD，用于生產(chǎn)高亮度LED：Turbo Disc Max Bright®M™，Turbo Disc Max Bright MHP™以及Turbo Disc K465i HP™。

　　Max Bright M: 更緊湊的模塊化Veeco多反應(yīng)腔設(shè)備。與Max Bright相比Max Bright M能提供更好的服務(wù)便利性，廠(chǎng)房面積利用率提高15%。該機(jī)型具有更好的布局配置靈活性以適應(yīng)不同客戶(hù)的場(chǎng)地要求。

　　Max Bright MHP: 模塊化的“M”機(jī)型中的高性能版。Max Bright MHP的片內(nèi)波長(zhǎng)均勻性比MaxBright提高了20%。由于技術(shù)進(jìn)步，熱性能和流動(dòng)性能得到改善，因此良率得以提高。與MaxBright相比MaxBright MHP的使用成本更低。

　　K465i HP: 是Veeco的單反應(yīng)腔MOCVD設(shè)備的高性能版。與K465i相比片內(nèi)波長(zhǎng)均勻性提高20%而使用成本更低。

　　這些新設(shè)備均支持2英寸、4英寸、6英寸以及8英寸晶圓生長(zhǎng)。現(xiàn)有的Max Bright和K465i設(shè)備都能很容易地現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)到高性能版。所有Veeco的MOCVD設(shè)備都擁有維護(hù)需求低的Turbo Disc技術(shù)，從而具有最長(zhǎng)的設(shè)備連續(xù)生產(chǎn)時(shí)間和最高產(chǎn)量。

　　據(jù)調(diào)查，2010年推出的K465i設(shè)備是該年度最暢銷(xiāo)的MOCVD設(shè)備。2011年推出的Max Bright是去年最暢銷(xiāo)的機(jī)臺(tái)?；衔锇雽?dǎo)體雜志最近為Veeco公司頒發(fā)了“化合物半導(dǎo)體制造獎(jiǎng)”，評(píng)價(jià)道“Max Bright設(shè)備是化合物半導(dǎo)體制造業(yè)在過(guò)去一年中的最大突破”。