德國亞琛，2011年11月8日—繼成功推出CRIUS II-L后，愛思強欣然宣布MOCVD反應(yīng)器的產(chǎn)能再上一層樓。19x4英寸規(guī)格的新型CRIUS II-XL反應(yīng)器產(chǎn)能超卓，產(chǎn)量及產(chǎn)能均問鼎世界之最。此外，CRIUS II-XL 具備了同級設(shè)備中最優(yōu)化的運作成本和占地效益。

CRIUS II-XL

　　CRIUS II-XL主要采用CRIUS II-L的硬件配置。“需要更換的組件只有一項，就是襯托器底板。更換該部分以后，反應(yīng)器的產(chǎn)能將大大提高，而且基本上無需額外成本” 愛思強Close Coupled Showerhead (CCS) 近耦合技術(shù)噴淋頭反應(yīng)器技術(shù)的項目經(jīng)理Johannes Lindner博士表示，“這是讓CRIUS II-L盡可能順利升級成CRIUS® II-XL的其中一個關(guān)鍵設(shè)計標準。除此之外，只需作出極少的工藝調(diào)整就能升級至CRIUS II-XL。”

　　此款CRIUS反應(yīng)器系列的最新機型同樣是根據(jù)市場需求(尤其是針對發(fā)光二極管制造成本)進行詳盡分析后研發(fā)而成。“市場對高成本效益的發(fā)光二極管制造需求強烈，而我們深知MOCVD對降低成本意義重大，”愛思強營銷副總裁Rainer Beccard博士表示，“眾多參數(shù)當(dāng)中，反應(yīng)器的產(chǎn)能對總體擁有成本的影響最大。因此，我們決定設(shè)計出19x4英寸規(guī)格的反應(yīng)器。 這一反應(yīng)器已由愛思強應(yīng)用實驗室進行全面檢測，確保除了出眾的產(chǎn)能以外，其一致性及良率也無可挑剔?？梢赃x擇使用2英寸到8英寸之間任何尺寸的晶圓，硬件上只需簡單的更換石墨盤，不需要其它硬件或工藝上的調(diào)整。”

　　CRIUS II-XL是愛思強CCS產(chǎn)品系列的最新出品，實驗證明，該產(chǎn)品可在長達數(shù)年的時間內(nèi)提供最佳的生產(chǎn)穩(wěn)定性并保持良好運作。MOCVD系統(tǒng)的標準功能包括反應(yīng)器在位的高度調(diào)整，以便在任何工藝環(huán)境下都可以選擇最優(yōu)化的反應(yīng)器結(jié)構(gòu)，該系統(tǒng)還配備獨特的ARGUS在位監(jiān)測設(shè)備。