【解讀】 PL技術(shù)用于LED材料特性檢測
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上傳人：本站 上傳時間： 2013-12-10 瀏覽次數(shù)： 24 |
PL為一快速、非接觸性、非破壞性之可量測樣品空間分布的量測技術(shù)，無論在產(chǎn)品的量產(chǎn)和開發(fā)上都有很好應用。因PL快速量測的特性可適應LED產(chǎn)線上的生產(chǎn)速度，且以非接觸與非破壞性的量測可確保樣品不會在量測的過程中改變原本的特性，配合mapping技術(shù)或?qū)⒂嵦柦邮掌鞲臑镃CD，可得到樣品空間分布的特性，得知制程的均勻性以回饋MOCVD的制程，于量測時不需電極可監(jiān)控制成過程中每一個步驟的變化，此為PL量測技術(shù)導入LED Wafer產(chǎn)線的優(yōu)勢。
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