【解讀】 PL技術(shù)用于LED材料特性檢測(cè)
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上傳人：本站 上傳時(shí)間： 2013-12-10 瀏覽次數(shù)： 24 |
PL為一快速、非接觸性、非破壞性之可量測(cè)樣品空間分布的量測(cè)技術(shù)，無論在產(chǎn)品的量產(chǎn)和開發(fā)上都有很好應(yīng)用。因PL快速量測(cè)的特性可適應(yīng)LED產(chǎn)線上的生產(chǎn)速度，且以非接觸與非破壞性的量測(cè)可確保樣品不會(huì)在量測(cè)的過程中改變?cè)镜奶匦?，配合mapping技術(shù)或?qū)⒂嵦?hào)接收器改為CCD，可得到樣品空間分布的特性，得知制程的均勻性以回饋MOCVD的制程，于量測(cè)時(shí)不需電極可監(jiān)控制成過程中每一個(gè)步驟的變化，此為PL量測(cè)技術(shù)導(dǎo)入LED Wafer產(chǎn)線的優(yōu)勢(shì)。
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