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Micro LED量產(chǎn)起飛在即,日本設備廠商展技術方案

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2020-02-07 作者: 來源:LEDinside 瀏覽量: 網(wǎng)友評論: 0
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摘要: 相較于不久前各國際品牌在CES上推出各種爭奇斗艷的新產(chǎn)品,參與日本電子展NEPCON的公司,則多關注于技術面的交流跟革新,這兩種截然不同的展會風格正好反映在Micro LED技術的演示上。

  相較于不久前各國際品牌在CES上推出各種爭奇斗艷的新產(chǎn)品,參與日本電子展NEPCON的公司,則多關注于技術面的交流跟革新,這兩種截然不同的展會風格正好反映在Micro LED技術的演示上。

  雖然在今年的NEPCON Japan上,較少看到廠商主打Micro LED或Mini LED技術及產(chǎn)品,但LEDinside仍觀察到幾家日本的設備公司介紹自家的巨量轉移及檢測技術,針對已在商轉門口就定位的Micro LED顯示技術,提供量產(chǎn)方案?! ?/p>

Micro LED量產(chǎn)起飛在即,日本設備廠商展技術方案 1.png


  日本信越展出Micro LED的轉移方案,先將晶圓片放上信越開發(fā)的暫存基板,并利用雷射剝離制程Laser Lift-off將Micro LED芯片打到暫存基板上,移除藍寶石基板,后續(xù)再透過清洗,去除芯片上的鎵Ga,接著以信越的轉印方案將Micro LED芯片轉移到顯示器背板上。該方案適用于覆晶技術flip-chip,*新一代的轉印可處理4吋晶圓。

  

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  之前推出Micro LED轉移以及檢測修復方案的Toray今年也沒缺席。透過攝影檢查LED芯片上的缺陷,并用雷射打掉不合格的芯片,再以其設備精準定位RGBLED進行轉移,最后再次檢驗并補齊缺陷,提升良率。

  

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  TDK本次也低調(diào)在攤位展出Micro LED制程解決方案的說明海報。針對Micro LED的壞點移除、巨量轉移、芯片檢測修復以及背板接合都有應對的技術設備??梢源罅哭D移最小到10µm的Micro LED芯片,精準度則來到±1.9µm以下。據(jù)TDK表示,其解決方案已獲知名中國及韓國廠商采用。

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