日本牛尾電機成功開發(fā)LED用激光剝離裝置
摘要： 日本牛尾電機宣布已開始供貨LED用曝光裝置，并成功開發(fā)出了LED用激光剝離裝置。曝光裝置“UX4-LEDs FFPL 200”是“全球首款”(牛尾電機)支持200mm晶圓的產品。而激光剝離裝置“UX4-LEDs LLO150”用于從藍寶石(Al2O3)基板上剝離氮化鎵(GaN)膜，實現藍寶石基板的重復利用時。
日本牛尾電機宣布已開始供貨LED用曝光裝置，并成功開發(fā)出了LED用激光剝離裝置。曝光裝置“UX4-LEDs FFPL 200”是“全球首款”(牛尾電機)支持200mm晶圓的產品。而激光剝離裝置“UX4-LEDs LLO150”用于從藍寶石(Al2O3)基板上剝離氮化鎵(GaN)膜，實現藍寶石基板的重復利用時。
關于曝光裝置，牛尾電機曾于2010年11月發(fā)布了支持150mm晶圓的裝置，日本、韓國、臺灣以及中國大陸的大型LED廠商已應用于量產線。此次的裝置沿襲了150mm晶圓裝置的平臺，同時配備了支持200mm晶圓的光學系統(tǒng)。由于采用了全域等倍曝光方式，因此不會像步進曝光(Step and Repeat)方式那樣，吞吐量隨著晶圓直徑的擴大而降低，繼續(xù)保持了120張/小時的吞吐量。分辨率為3μm，重疊精度方面，正反面均為1μm?？蛇x配反面疊加功能。
激光剝離裝置方面，此次配備了高穩(wěn)定性激光器、在曝光裝置中開發(fā)的紫外光學技術及搬運技術，能夠兼顧高生產效率及穩(wěn)定的品質。支持150mm基板。
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